利(li)用高(gao)功(gong)率密度(du)激(ji)(ji)光(guang)束照射(she)(she)被(bei)切(qie)(qie)割材料,使材料很快被(bei)加熱至汽(qi)化(hua)溫度(du),蒸發形成(cheng)孔洞,隨著(zhu)光(guang)束對(dui)材料的(de)移動,孔洞連續形成(cheng)寬度(du)很窄的(de)(如0.1mm左右)切(qie)(qie)縫,完成(cheng)對(dui)材料的(de)切(qie)(qie)割。激(ji)(ji)光(guang)切(qie)(qie)割是利(li)用經聚焦的(de)高(gao)功(gong)率密度(du)激(ji)(ji)光(guang)束照射(she)(she)工件,使被(bei)照射(she)(she)的(de)材料速度(du)熔化(hua)、汽(qi)化(hua)、燒蝕或達到燃(ran)點,同(tong)時借助(zhu)與光(guang)束同(tong)軸的(de)高(gao)速氣流吹除熔融物質,從而(er)實現(xian)將工件割開。激(ji)(ji)光(guang)切(qie)(qie)割屬于熱切(qie)(qie)割方(fang)法之一。
激(ji)(ji)光(guang)(guang)切(qie)(qie)割可分為(wei)激(ji)(ji)光(guang)(guang)汽(qi)化切(qie)(qie)割、激(ji)(ji)光(guang)(guang)熔化切(qie)(qie)割、激(ji)(ji)光(guang)(guang)氧(yang)氣(qi)切(qie)(qie)割和激(ji)(ji)光(guang)(guang)劃(hua)片與(yu)控(kong)制斷裂(lie)四類。利(li)用能(neng)量密(mi)度的激(ji)(ji)光(guang)(guang)束(shu)加熱(re)工件,使溫度速度上升(sheng),在(zai)比較(jiao)短的時(shi)間內(nei)達到(dao)材料(liao)的沸點(dian),材料(liao)開始汽(qi)化,形(xing)成蒸氣(qi)。這些蒸氣(qi)的噴出(chu)速度很大,在(zai)蒸氣(qi)噴出(chu)的同時(shi),在(zai)材料(liao)上形(xing)成切(qie)(qie)口。材料(liao)的汽(qi)化熱(re)一(yi)般很大,所(suo)以激(ji)(ji)光(guang)(guang)汽(qi)化切(qie)(qie)割時(shi)需要很大的功(gong)率(lv)(lv)和功(gong)率(lv)(lv)密(mi)度。
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